壓力傳感器的誤差主要由偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差構(gòu)成:
1、靈敏度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。 。
2、偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
3、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
4、線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
標(biāo)定可消除或極大地減小這些誤差,而補償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù),而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用,而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補償工作。
一點標(biāo)定法可通過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補償偏移量誤差,這類標(biāo)定方法稱為自動歸零。
差動傳感器的零壓力標(biāo)定非常精確,因為標(biāo)定壓力嚴(yán)格為0。另一方面,壓力不為0時的標(biāo)定精確度取決于壓力傳感器或測量系統(tǒng)的性能。偏移量標(biāo)定通常在零壓力下進行,特別是在差動傳感器中,因為在標(biāo)稱條件下差動壓力通常為0。對于純傳感器,偏移量標(biāo)定則要困難一些,因為它要么需要一個壓力讀取系統(tǒng),用以測量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標(biāo)定壓力值,要么需要獲取期望壓力的。更多壓力傳感器相關(guān)技術(shù)文章請訪問:http://m.fpog.cn



