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          電阻式傳感器測量原理與測量電路

          發(fā)布時間:2019-11-30 08:56人氣:

          一、測量原理
          電阻式傳感器的基本工作原理是將被測的非電量轉(zhuǎn)化成電阻值的變化,再經(jīng)過轉(zhuǎn)換電路變成電量輸出。根據(jù)傳感器組成材料變化或傳感器原理變化,產(chǎn)生了各種各樣的電阻式傳感器,主要包括壓敏式傳感器、熱敏傳感器、光敏傳感器、濕敏傳感器、壓力傳感器。
           電阻傳感器可以測量力、壓力、位移、應(yīng)變、加速度和溫度等非電量參數(shù)。電阻式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,性能穩(wěn)定,靈敏度較高,有的還可用于動態(tài)測量。
          壓力傳感器
          二、測量電路
          以典型的固態(tài)壓阻式壓力傳感器為例,硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應(yīng)變時,其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級狀態(tài)會發(fā)生變化,從而導(dǎo)致其電阻率劇烈變化。用此材料制成的電阻也就出現(xiàn)極大變化,這種物理效應(yīng)稱為壓阻效應(yīng)。利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯登電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一片硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。 再給傳感器匹配一個放大電路及相關(guān)外圍部件,使之輸出一個標(biāo)準(zhǔn)信號,就組成了一臺完整的變送器。
          硅壓阻式傳感器一般對溫度比較敏感,但隨著集成工藝技術(shù)的進步,擴散硅敏感膜的四個電阻一致性也得到進一步提高,而且在新一代的傳感器中,原始的手工補償已被激光調(diào)阻、計算機自動修調(diào)等技術(shù)所替代,傳感器的溫度系數(shù)已經(jīng)非常小了,工作溫度范圍也大幅度提高了。更多傳感器相關(guān)文章請訪問滄正傳感官網(wǎng):http://m.fpog.cn

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