合理進(jìn)行壓力傳感器的誤差補償是其應(yīng)用的關(guān)鍵。壓力傳感器主要有靈敏度誤差、偏移量誤差、滯后誤差和線性誤差，本文將介紹這四種誤差產(chǎn)生的機理和對測試結(jié)果的影響，同時將介紹為提高測量精度的壓力標(biāo)定方法以及應(yīng)用實例。
目前市場上傳感器種類豐富多樣，這使得設(shè)計工程師可以選擇系統(tǒng)所需的壓力傳感器。這些傳感器既包括最基本的變換器，也包括更為復(fù)雜的帶有片上電路的高集成度傳感器。由于存在這些差異，設(shè)計工程師必須盡可能夠補償壓力傳感器的測量誤差，這是保證傳感器滿足設(shè)計和應(yīng)用要求的重要步驟。在某些情況下，補償還能提高傳感器在應(yīng)用中的整體性能。
本文以深圳滄正公司的壓力傳感器為例，所涉及的概念適用于各種壓力傳感器的設(shè)計應(yīng)用，該器件具有3類：
1．基本的或未加補償標(biāo)定；
2．有標(biāo)定并進(jìn)行溫度補償；
3．有標(biāo)定、補償和放大。
偏移量、范圍標(biāo)定以及溫度補償均可以通過薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)，這種薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)在封裝過程中采用激光修正。該傳感器通常與微控制器結(jié)合使用，而微控制器的嵌入軟件本身建立了傳感器數(shù)學(xué)模型。微控制器讀取了輸出電壓后，通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換，該模型可以將電壓量轉(zhuǎn)換為壓力測量值。
傳感器最簡單的數(shù)學(xué)模型即為傳遞函數(shù)。該模型可在整個標(biāo)定過程中進(jìn)行優(yōu)化，并且模型的成熟度將隨標(biāo)定點的增加而增加。
從計量學(xué)的角度看，測量誤差具有相當(dāng)嚴(yán)格的定義：它表征了測量壓力與實際壓力之間的差異。而通常無法直接得到實際壓力，但可以通過采用適當(dāng)?shù)膲毫?biāo)準(zhǔn)加以估計，計量人員通常采用那些精度比被測設(shè)備高出至少10倍的儀器作為測量標(biāo)準(zhǔn)。
由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力，測得的壓力將產(chǎn)生如圖1所示的誤差。
目前市場上傳感器種類豐富多樣，這使得設(shè)計工程師可以選擇系統(tǒng)所需的壓力傳感器。這些傳感器既包括最基本的變換器，也包括更為復(fù)雜的帶有片上電路的高集成度傳感器。由于存在這些差異，設(shè)計工程師必須盡可能夠補償壓力傳感器的測量誤差，這是保證傳感器滿足設(shè)計和應(yīng)用要求的重要步驟。在某些情況下，補償還能提高傳感器在應(yīng)用中的整體性能。
本文以深圳滄正公司的壓力傳感器為例，所涉及的概念適用于各種壓力傳感器的設(shè)計應(yīng)用，該器件具有3類：
1．基本的或未加補償標(biāo)定；
2．有標(biāo)定并進(jìn)行溫度補償；
3．有標(biāo)定、補償和放大。
偏移量、范圍標(biāo)定以及溫度補償均可以通過薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)實現(xiàn)，這種薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)在封裝過程中采用激光修正。該傳感器通常與微控制器結(jié)合使用，而微控制器的嵌入軟件本身建立了傳感器數(shù)學(xué)模型。微控制器讀取了輸出電壓后，通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換，該模型可以將電壓量轉(zhuǎn)換為壓力測量值。
傳感器最簡單的數(shù)學(xué)模型即為傳遞函數(shù)。該模型可在整個標(biāo)定過程中進(jìn)行優(yōu)化，并且模型的成熟度將隨標(biāo)定點的增加而增加。
從計量學(xué)的角度看，測量誤差具有相當(dāng)嚴(yán)格的定義：它表征了測量壓力與實際壓力之間的差異。而通常無法直接得到實際壓力，但可以通過采用適當(dāng)?shù)膲毫?biāo)準(zhǔn)加以估計，計量人員通常采用那些精度比被測設(shè)備高出至少10倍的儀器作為測量標(biāo)準(zhǔn)。
由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力，測得的壓力將產(chǎn)生如圖1所示的誤差。
這種未經(jīng)標(biāo)定的初始誤差由以下幾個部分組成：
1．靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)（見圖1）。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
2．偏移量誤差：由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
3．滯后誤差：在大多數(shù)情形中，滯后誤差完全可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
4．線性誤差：這是一個對初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線。
標(biāo)定可消除或極大地減小這些誤差，而補償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù)，而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用，而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補償工作。
一點標(biāo)定法可通過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補償偏移量誤差，這類標(biāo)定方法稱為自動歸零。偏移量標(biāo)定通常在零壓力下進(jìn)行，特別是在差動傳感器中，因為在標(biāo)稱條件下差動壓力通常為0。對于純傳感器，偏移量標(biāo)定則要困難一些，因為它要么需要一個壓力讀取系統(tǒng)，用以測量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標(biāo)定壓力值，要么需要獲取期望壓力的壓力控制器。
差動傳感器的零壓力標(biāo)定非常精確，因為標(biāo)定壓力嚴(yán)格為0。另一方面，壓力不為0時的標(biāo)定精確度取決于壓力控制器或測量系統(tǒng)的性能。
選擇標(biāo)定壓力
標(biāo)定壓力的選取非常重要，因其決定了獲取最佳精度的壓力范圍。實際上，經(jīng)過標(biāo)定后實際的偏移量誤差在標(biāo)定點處最小并一直保持較小的值。因此，標(biāo)定點必須根據(jù)目標(biāo)壓力范圍加以選擇，而壓力范圍可以不與工作范圍相一致。
為了將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力值，由于實際的靈敏度往往是未知，因此在數(shù)學(xué)模型中通常采用典型靈敏度進(jìn)行單點標(biāo)定。
1．靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)（見圖1）。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
2．偏移量誤差：由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
3．滯后誤差：在大多數(shù)情形中，滯后誤差完全可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
4．線性誤差：這是一個對初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線。
標(biāo)定可消除或極大地減小這些誤差，而補償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù)，而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用，而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補償工作。
一點標(biāo)定法可通過消除傳遞函數(shù)零點處的漂移來補償偏移量誤差，這類標(biāo)定方法稱為自動歸零。偏移量標(biāo)定通常在零壓力下進(jìn)行，特別是在差動傳感器中，因為在標(biāo)稱條件下差動壓力通常為0。對于純傳感器，偏移量標(biāo)定則要困難一些，因為它要么需要一個壓力讀取系統(tǒng)，用以測量其在環(huán)境大氣壓力條件下的標(biāo)定壓力值，要么需要獲取期望壓力的壓力控制器。
差動傳感器的零壓力標(biāo)定非常精確，因為標(biāo)定壓力嚴(yán)格為0。另一方面，壓力不為0時的標(biāo)定精確度取決于壓力控制器或測量系統(tǒng)的性能。
選擇標(biāo)定壓力
標(biāo)定壓力的選取非常重要，因其決定了獲取最佳精度的壓力范圍。實際上，經(jīng)過標(biāo)定后實際的偏移量誤差在標(biāo)定點處最小并一直保持較小的值。因此，標(biāo)定點必須根據(jù)目標(biāo)壓力范圍加以選擇，而壓力范圍可以不與工作范圍相一致。
為了將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力值，由于實際的靈敏度往往是未知，因此在數(shù)學(xué)模型中通常采用典型靈敏度進(jìn)行單點標(biāo)定。
圖2中紅色曲線表示進(jìn)行偏移量標(biāo)定（PCAL=0）后的誤差曲線，可以發(fā)現(xiàn)誤差曲線相對于表示標(biāo)定前誤差的黑色曲線產(chǎn)生了垂直偏移。
這種標(biāo)定方法與一點標(biāo)定法相比要求更為嚴(yán)格，實現(xiàn)成本也更高。然而與一點標(biāo)定法相比，該方法可顯著提高系統(tǒng)的精度，因為該方法不僅標(biāo)定了偏移量，還標(biāo)定了傳感器的靈敏度。因此在誤差計算中可以使用靈敏度實際值，而非典型值。
圖2中的綠色曲線表示精度提高。在這里，標(biāo)定是在0～500兆巴（滿標(biāo)度）條件下進(jìn)行。由于在標(biāo)定點上誤差接近于0，因此為了在期望的壓力范圍內(nèi)得到最小的測量誤差，正確地設(shè)定這些點就顯得尤為重要。
某些應(yīng)用中要求在整個壓力范圍內(nèi)保持較高的精確度。在這些應(yīng)用中，可以采用多點標(biāo)定法來得到最理想的結(jié)果。在多點標(biāo)定法中，不僅考慮了偏移量和靈敏度誤差，還考慮了大部分的線性誤差，如圖2紫紅色曲線所示。這兒用的數(shù)學(xué)模型與每個標(biāo)定間距（在兩個標(biāo)定點之間）的兩級標(biāo)定完全一樣。
三點標(biāo)定
如前所述，線性誤差具有一致的形式，且誤差曲線符合二次方程的曲線，具有可預(yù)測的大小和形狀。對于未采用放大器的傳感器更是如此，因為傳感器的非線性從本質(zhì)上是基于機械原因（這是由硅片的薄膜壓力引起）。
線性誤差特性的描述可以通過計算典型實例的平均線性誤差，確定多項式函數(shù)（a×2+bx+c）的參數(shù)而得到。確定了a、b和c后得到的模型對于相同類型的傳感器都是有效的。該方法能在無需第3個標(biāo)定點的情況下有效地補償線性誤差。
這種標(biāo)定方法與一點標(biāo)定法相比要求更為嚴(yán)格，實現(xiàn)成本也更高。然而與一點標(biāo)定法相比，該方法可顯著提高系統(tǒng)的精度，因為該方法不僅標(biāo)定了偏移量，還標(biāo)定了傳感器的靈敏度。因此在誤差計算中可以使用靈敏度實際值，而非典型值。
圖2中的綠色曲線表示精度提高。在這里，標(biāo)定是在0～500兆巴（滿標(biāo)度）條件下進(jìn)行。由于在標(biāo)定點上誤差接近于0，因此為了在期望的壓力范圍內(nèi)得到最小的測量誤差，正確地設(shè)定這些點就顯得尤為重要。
某些應(yīng)用中要求在整個壓力范圍內(nèi)保持較高的精確度。在這些應(yīng)用中，可以采用多點標(biāo)定法來得到最理想的結(jié)果。在多點標(biāo)定法中，不僅考慮了偏移量和靈敏度誤差，還考慮了大部分的線性誤差，如圖2紫紅色曲線所示。這兒用的數(shù)學(xué)模型與每個標(biāo)定間距（在兩個標(biāo)定點之間）的兩級標(biāo)定完全一樣。
三點標(biāo)定
如前所述，線性誤差具有一致的形式，且誤差曲線符合二次方程的曲線，具有可預(yù)測的大小和形狀。對于未采用放大器的傳感器更是如此，因為傳感器的非線性從本質(zhì)上是基于機械原因（這是由硅片的薄膜壓力引起）。
線性誤差特性的描述可以通過計算典型實例的平均線性誤差，確定多項式函數(shù)（a×2+bx+c）的參數(shù)而得到。確定了a、b和c后得到的模型對于相同類型的傳感器都是有效的。該方法能在無需第3個標(biāo)定點的情況下有效地補償線性誤差。
